PECVD(固液蒸發(fā)防冷凝裝置)
發(fā)布時間： 2025-01-07 19:39:42 瀏覽次數(shù)：337
在等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）工藝中，前端配備液態(tài)氣相發(fā)生器（Liquid to Vapor Generator），后端配備真空泵尾氣處理罐（Condensation Prevention Exhaust Gas Treatment Tank for Vacuum Pumps），可以構(gòu)建一個高效、環(huán)保且穩(wěn)定的薄膜沉積系統(tǒng)。這種配置不僅能夠確保反應氣體的精確控制和均勻傳輸，還能有效防止尾氣中的冷凝現(xiàn)象，避免有害物質(zhì)在管道或設備內(nèi)部形成積聚，保護環(huán)境和操作人員健康。
應用領域
1. 半導體制造：用于制備硅基器件上的絕緣層、導電層等，如二氧化硅（SiO?）、氮化硅（Si?N?）等。
2. 光伏產(chǎn)業(yè)：生產(chǎn)太陽能電池板所需的減反射膜、背場接觸層等。
3. 光學涂層：為鏡頭、鏡子等光學元件提供高反射率或低反射率的涂層。
4. 微電子機械系統(tǒng)（MEMS）：制造微小尺寸的傳感器、執(zhí)行器等器件。
 | 設備特點： 1. 精密溫控系統(tǒng) ?PID調(diào)節(jié)：采用先進的PID算法，實現(xiàn)對蒸發(fā)溫度的精確控制，確保前驅(qū)物能夠在最適宜的溫度下蒸發(fā)。 ?快速響應：具備快速升溫/降溫的能力，滿足不同工藝流程的需求。 2. 高效的蒸發(fā) ?優(yōu)化設計：蒸發(fā)器結(jié)構(gòu)經(jīng)過優(yōu)化設計，最大化蒸發(fā)效率的同時減少殘留物質(zhì)的積累。 3. 可靠的防冷凝措施 ?真空泵防冷凝尾氣處理罐用于去除或減少真空泵排放氣體中的有害物質(zhì)，如揮發(fā)性有機化合物（VOCs）、酸性氣體、粉塵等，以確保符合環(huán)保標準，并保護環(huán)境和操作人員健康。 4. 智能化操作界面 ?觸摸屏控制：提供直觀易用的觸摸屏界面，用戶可以輕松設置參數(shù)并監(jiān)控運行狀態(tài)。 ?數(shù)據(jù)記錄與分析：自動記錄關鍵運行數(shù)據(jù)，并生成報告，便于后續(xù)分析和改進。 | |||||||
設備名稱 | 等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng) | |||||||
規(guī)格型號 | NBD-PECVD1200-80TID4ZY | |||||||
額定功率 | 7.5KW+1.5KW | |||||||
供電電源 | 三相380V 50HZ | |||||||
射頻頻率 | 13.56Mhz | |||||||
射頻功率范圍 | 0-500W | |||||||
沉積加熱額定功率 | 2.5KW | |||||||
蒸發(fā)器額定功率 | 1.3KW | |||||||
伴熱帶額定功率 | 75W | |||||||
沉積額定溫度 | 1150℃ | |||||||
蒸發(fā)器額定溫度 | 400℃ | |||||||
伴熱帶額定溫度 | 150℃ | |||||||
控溫精度 | ±1℃ | |||||||
傳感器類型 | K型熱電偶 | |||||||
Tmax | 1200℃ | |||||||
升溫速率 | 1℃/H-20℃/Min | |||||||
爐膛尺寸 | 一溫區(qū)Φ150*200；二溫區(qū)Φ150*200 | |||||||
爐管尺寸 | 石英管φ80*1400mm | |||||||
四路進氣 | 質(zhì)量流量控制器規(guī)格： S500 50SCCM 兩路：Φ6.35雙卡套 氮氣標定 S500 30SCCM 一路：Φ6.35雙卡套 氮氣標定 S500 1000SCCM一路：Φ6.35雙卡套 氮氣標定 | |||||||
爐體尺寸 | 2230*800*1300mm | |||||||
控制系統(tǒng) |  | 1、燒結(jié)工藝曲線設置：動態(tài)顯示設置曲線，設備燒結(jié)可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導出實現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正。 | ||||||
溫度精度 | ±1℃ | |||||||
加熱元件 |
| Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||||||
液態(tài)蒸汽發(fā)生器+蠕動泵 |  | 該系統(tǒng)能夠精確控制液體前驅(qū)物的輸送，并將其高效轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，確保反應氣體的均勻傳輸，從而提高了薄膜沉積的質(zhì)量和效率。這種組合特別適用于需要高精度流量控制和穩(wěn)定蒸發(fā)的應用場景。 | ||||||
真空泵尾氣處理罐 |  | 用于去除或減少真空泵排放氣體中的有害物質(zhì)，如揮發(fā)性有機化合物（VOCs）、酸性氣體、粉塵等，確保排放符合環(huán)保標準，并保護環(huán)境和操作人員健康。 | ||||||
凈重 | 260kg | |||||||
設備使用注意事項 | 1、設備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害； 2、設備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞； 3、真空下使用時，設備使用溫度不得超過800℃。 4、供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。 5、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)； 6、高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 7、加熱的實驗時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若絕對壓力表讀數(shù)大于0.15MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。 | |||||||
服務支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請在下面的相關產(chǎn)品處訂購更換件）。 | |||||||
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