雙溫區(qū)管式爐1200℃
發(fā)布時間: 2019-01-21 11:08:20 瀏覽次數(shù):5617
設(shè)備簡介:
為滿足各類CVD工藝的要求,我們將多個溫區(qū)的控制儀表全部融合到了智能控制系統(tǒng)里,您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數(shù)設(shè)定。在滿足不同溫區(qū)梯度控制的同時,還可將多個溫區(qū)設(shè)定為同一溫度點,作為加長的單溫區(qū)使用。它延續(xù)了開啟式管式爐的經(jīng)典設(shè)計,美觀與實用同在!
設(shè)備特點: 1. 雙層鋼結(jié)構(gòu); 2. 高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節(jié)約能源; 3. 耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命; 4. 氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度。 | ||||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-O1200-50T2G | NBD-O1200-60T2G | NBD-O1200-80T2G | NBD-O1200-100T2G | ||||||
電氣規(guī)格 | AC220V ???2KW*2 | |||||||||
可達溫度極限 | 1200 ℃(<1小時) | |||||||||
長期使用溫度范圍 | 300~1150℃ | |||||||||
加熱速率 | ≤20℃/分鐘 | |||||||||
加熱區(qū)長度 | 200mm*2(雙溫雙控:每個溫區(qū)均可獨立運行) | |||||||||
爐管尺寸 | Φ50*1000mm | Φ60*1000mm | Φ80*1000mm | Φ100*1000mm | ||||||
溫場分布 | 如圖所示:此為該設(shè)備溫區(qū)曲線圖(恒溫區(qū)尺寸:100mm*2) | |||||||||
控制系統(tǒng) | 1.可預(yù)存15條溫度曲線,避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩; 2.實驗過程更加直觀,操作更加便捷; 3.NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式,非線性式樣溫度修正; 4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。 | |||||||||
溫度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
加熱元件 | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | |||||||||
密封系統(tǒng) | ||||||||||
真空度:≤10Pa(機械泵) | ||||||||||
CVD實驗原理 | 采用雙溫區(qū)結(jié)構(gòu),通過對每個溫區(qū)單獨控制,可以營造不同的溫度梯度,便于各種CVD實驗。 | |||||||||
供氣系統(tǒng) | 采用浮子流量計控制氣體流速,與設(shè)備一體化,方便控制,且出廠前已進行漏氣測試工作。 | |||||||||
采用機械壓力表,表外殼為氣密型結(jié)構(gòu),能有效保護內(nèi)部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。 | ||||||||||
凈重 | 60KG | |||||||||
設(shè)備使用注意事項 | 1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2、設(shè)備使用時,爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設(shè)備損壞; 3、真空下使用時,設(shè)備使用溫度不得超過800℃。 4、供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高,向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。 5、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng),保持在常壓狀態(tài); 6、高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 7、加熱的實驗時,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。 | |||||||||
服務(wù)支持 | 1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如爐管和O形圈等) |
相關(guān)產(chǎn)品
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