多溫區(qū)CVD系統(tǒng)

發(fā)布時(shí)間: 2020-07-02 07:45:00    瀏覽次數(shù):3257

設(shè)備簡(jiǎn)介:

多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐,供氣和真空系統(tǒng)靈活組合,滿足各類薄膜沉積,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大面積的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。

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設(shè)備特點(diǎn):

1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管,耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越;

2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果優(yōu)越,降低設(shè)備功耗;

3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝,自動(dòng)抬升系統(tǒng)開啟上蓋;

4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,實(shí)時(shí)加熱功率顯示,非線性式樣溫度修正;實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。

5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng),多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng);

產(chǎn)品溫區(qū)

三溫區(qū)

四溫區(qū)

五溫區(qū)

六溫區(qū)

爐管尺寸

Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100*1600mm

工作溫度

≤1150℃

加熱區(qū)選擇

(可定制)

200mm*3/

200+300+200mm/

200+400+200mm/

300mm*3/

300+400+300mm

200mm*4/

200+300+300+200mm/

200+400+400+200mm/

300mm*4/

300+400+400+300mm

200mm*5/

300mm*5

 

200mm*6/

300mm*6

 

升溫速率

≤20℃/s

電氣規(guī)格

AC380V 6~10KW

AC380V 8~14KW

AC380V 10~15KW

AC380V 12~18KW

氣體系統(tǒng)(可選購)

浮子或質(zhì)子

管道示意圖

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min.....(多量程可選)

50/100/200/500sccm......(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號(hào)

NBD-3C/NBD-4C

抽氣速率

3L/s或4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

KF16/25

系統(tǒng)真空

3~5Pa(真空泵極限真空6.2*10-2Pa)

工作環(huán)境溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

低真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號(hào)

NBD-103(A)

NBD-103(B)

抽氣速率

110L/s

600L/s

真空測(cè)量計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

系統(tǒng)真空

4.310^-3Pa

6*10^-4Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 380V

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。)

服務(wù)支持

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