多溫區(qū)CVD系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間: 2020-07-02 07:45:00 瀏覽次數(shù):3257
設(shè)備簡(jiǎn)介:
多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐,供氣和真空系統(tǒng)靈活組合,滿足各類薄膜沉積,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大面積的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。
![]() | 設(shè)備特點(diǎn): 1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管,耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越; 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果優(yōu)越,降低設(shè)備功耗; 3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝,自動(dòng)抬升系統(tǒng)開啟上蓋; 4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,實(shí)時(shí)加熱功率顯示,非線性式樣溫度修正;實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成,實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng),多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng); | |||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品溫區(qū) | 三溫區(qū) | 四溫區(qū) | 五溫區(qū) | 六溫區(qū) | ||||||||||||||||||||||
爐管尺寸 | Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100*1600mm | |||||||||||||||||||||||||
工作溫度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||||||||||||
加熱區(qū)選擇 (可定制) | 200mm*3/ 200+300+200mm/ 200+400+200mm/ 300mm*3/ 300+400+300mm | 200mm*4/ 200+300+300+200mm/ 200+400+400+200mm/ 300mm*4/ 300+400+400+300mm | 200mm*5/ 300mm*5
| 200mm*6/ 300mm*6
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升溫速率 | ≤20℃/s | |||||||||||||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC380V 6~10KW | AC380V 8~14KW | AC380V 10~15KW | AC380V 12~18KW | ||||||||||||||||||||||
氣體系統(tǒng)(可選購) | 浮子或質(zhì)子 | |||||||||||||||||||||||||
管道示意圖 | ||||||||||||||||||||||||||
進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4(多路可選) | |||||||||||||||||||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min.....(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | |||||||||||||||||||||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | |||||||||||||||||||||||||
低真空系統(tǒng)(可選購) | 真空泵型號(hào) | NBD-3C/NBD-4C | ||||||||||||||||||||||||
抽氣速率 | 3L/s或4L/s | |||||||||||||||||||||||||
進(jìn)排氣口尺寸 | KF16/25 | |||||||||||||||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 3~5Pa(真空泵極限真空6.2*10-2Pa) | |||||||||||||||||||||||||
工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | |||||||||||||||||||||||||
低真空系統(tǒng)(可選購) | 真空泵型號(hào) | NBD-103(A) | NBD-103(B) | |||||||||||||||||||||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | ||||||||||||||||||||||||
真空測(cè)量計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | |||||||||||||||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | ||||||||||||||||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 380V | ||||||||||||||||||||||||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。) | |||||||||||||||||||||||||
服務(wù)支持 | * 支持非標(biāo)定做,更多型號(hào),歡迎來電垂詢400-000-3746 |
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