多溫區(qū)管式爐

發(fā)布時(shí)間: 2020-07-08 06:09:14    瀏覽次數(shù):3634

設(shè)備簡介:

多溫區(qū)管式爐,供氣和真空系統(tǒng)靈活組合,滿足各類薄膜沉積,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大面積的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。

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設(shè)備特點(diǎn)

1、采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管,耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越;

2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果優(yōu)越,降低設(shè)備功耗;

3、爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝,自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋;

4、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
5、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
6、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄;
7、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài);
8、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正

9、一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng),多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng);

產(chǎn)品溫區(qū)

三溫區(qū)

四溫區(qū)

五溫區(qū)

六溫區(qū)

爐管尺寸

Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100*1600mm

工作溫度

≤1150℃

加熱區(qū)選擇

(可定制)

200mm*3/

200+300+200mm/

200+400+200mm/

300mm*3/

300+400+300mm

200mm*4/

200+300+300+200mm/

200+400+400+200mm/

300mm*4/

300+400+400+300mm

200mm*5/

300mm*5

200mm*6/

300mm*6

升溫速率

≤20℃/s

電氣規(guī)格

AC380V?6~10KW

AC380V?8~14KW

AC380V?10~15KW

AC380V?12~18KW

氣體系統(tǒng)(可選購)

浮子或質(zhì)子

管道示意圖


進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min......(多量程可選)

50/100/200/500sccm......(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-3C/NBD-4C

抽氣速率

3L/s或4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

KF16/25

系統(tǒng)真空

3~5Pa(真空泵極限真空6.2*10-2Pa)

工作環(huán)境溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

高真空系統(tǒng)(可選購)

真空泵型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

抽氣速率

110L/s

600L/s

真空測量計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

系統(tǒng)真空

4.310^-3Pa

6*10^-4Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC?220V

AC 380V

* 支持非標(biāo)定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746

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