多溫區(qū)管式爐
發(fā)布時(shí)間: 2020-07-08 06:09:14 瀏覽次數(shù):3634
設(shè)備簡介:
多溫區(qū)管式爐,供氣和真空系統(tǒng)靈活組合,滿足各類薄膜沉積,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù),包括大面積的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng),適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)??茖W(xué)等領(lǐng)域。
![]() | 設(shè)備特點(diǎn): 1、采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管,耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越; 2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果優(yōu)越,降低設(shè)備功耗; 3、爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝,自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋; 4、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; 9、一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng),多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng); | ||||||||||||
產(chǎn)品溫區(qū) | 三溫區(qū) | 四溫區(qū) | 五溫區(qū) | 六溫區(qū) | |||||||||
爐管尺寸 | Φ25/Φ50/Φ60/Φ80/Φ100*1600mm | ||||||||||||
工作溫度 | ≤1150℃ | ||||||||||||
加熱區(qū)選擇 (可定制) | 200mm*3/ 200+300+200mm/ 200+400+200mm/ 300mm*3/ 300+400+300mm | 200mm*4/ 200+300+300+200mm/ 200+400+400+200mm/ 300mm*4/ 300+400+400+300mm | 200mm*5/ 300mm*5 | 200mm*6/ 300mm*6 | |||||||||
升溫速率 | ≤20℃/s | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC380V?6~10KW | AC380V?8~14KW | AC380V?10~15KW | AC380V?12~18KW | |||||||||
氣體系統(tǒng)(可選購) | 浮子或質(zhì)子 | ||||||||||||
管道示意圖 | ![]() | ||||||||||||
進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4(多路可選) | ||||||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | ||||||||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||||||
低真空系統(tǒng)(可選購) | 真空泵型號 | NBD-3C/NBD-4C | |||||||||||
抽氣速率 | 3L/s或4L/s | ||||||||||||
進(jìn)排氣口尺寸 | KF16/25 | ||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 3~5Pa(真空泵極限真空6.2*10-2Pa) | ||||||||||||
工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||||||
高真空系統(tǒng)(可選購) | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | ||||||||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | |||||||||||
真空測量計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | ||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | |||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC?220V | AC 380V | |||||||||||
* 支持非標(biāo)定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746 |
免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。
相關(guān)產(chǎn)品
銷售熱線: 0371-6320 2801
0371-6320 2805
售后服務(wù): 0371-6320 2805
蔡永國: 181-0371-5723
高經(jīng)理: 188-3829-0747
黃經(jīng)理: 188-3829-0748
Email: nbd@nbdkj.com
地址:鄭州·新鄭·新華街道竹園8號
- {{item.cat}}
- {{item2.cat}}
- {{ isExpanded[index2] ? '收起' : '更多' }}
電話:400-000-3746