超聲霧化CVD管式爐（mist-CVD霧化化學(xué)氣相沉積Mist Chemical Vapor Deposition）
發(fā)布時(shí)間： 2020-10-21 22:20:23 瀏覽次數(shù)：4685
設(shè)備簡(jiǎn)介：
本設(shè)備是一款氣溶膠輔助氣相沉積設(shè)-AACVD（使用液體/氣體的氣溶膠的前驅(qū)物成長(zhǎng)在基底上），針對(duì)于燃料電池、ZnO透明導(dǎo)電薄膜。此款儀器有三個(gè)主要模塊組成：微小流量液體高精度傳輸系統(tǒng)、超聲霧化系統(tǒng)、1200℃管式爐組成。此種技術(shù)適合使用非揮發(fā)的前驅(qū)物，可廣泛應(yīng)用于納米材料制備、電極材料包覆復(fù)合等方面。
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1.液體流量控制系統(tǒng)：中間體高精度傳輸、微小流量液體高精度傳輸、流量范圍：0.04～36ml/min； 2.霧化裝置：配有一個(gè)1.7MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成液體顆粒，導(dǎo)入到管式爐中； 3.加熱系統(tǒng)（管式爐可定制）：最高溫度可以達(dá)到1200℃。 | ||
電氣規(guī)格 | AC220V 1.2KW | |
T-max | 1200℃ | |
長(zhǎng)期使用溫度 | 300~1150℃ | |
升溫速率 | 1℃/H-20℃/Min | |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | |
高精度蠕動(dòng)泵 | 1、轉(zhuǎn)速范圍：0.1·100rpm正反轉(zhuǎn)可逆； 2、速度分辨率：0.1rpm； 3、調(diào)速方式：薄膜按鍵； 4、顯示方式：4位LED顯示當(dāng)前轉(zhuǎn)速或當(dāng)前流量； 5、加強(qiáng)PP材質(zhì)，耐腐蝕； 6、流速：0.04-13ml/min； 7、設(shè)有全速鍵，實(shí)現(xiàn)快速排空、添加； 8、具有掉電記憶功能，及時(shí)保存運(yùn)行參數(shù)。 | |
霧化器 | 1.AC220V ，1.7MHz超聲霧化儀； 2.液體罐標(biāo)配為聚四氟材質(zhì)，耐腐蝕，并采用硅膠密封圈密封； 3.可通過(guò)控制氣體流量計(jì)實(shí)現(xiàn)霧化流出速度； 4.可實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行霧化。 5.流速：0.04-13ml/min。 | |
控制系統(tǒng) | 1.可預(yù)存15條溫度曲線(xiàn)，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩； 2.實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀，操作更加便捷； 3.可另選配無(wú)線(xiàn)控制模塊，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控； 4.具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等。 | |
加熱元件 | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | |
流量控制 | 標(biāo)準(zhǔn)配置有一個(gè)浮子流量計(jì)，流量計(jì)量程為 | |
凈重 | 30kg | |
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1.設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害； 2.設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0.125MPa（絕對(duì)壓力），以防止壓力過(guò)大沖開(kāi)密封法蘭； 3.高真空下使用時(shí)（10-3Pa），設(shè)備使用溫度不得超過(guò)800℃。 | |
服務(wù)與支持 | 一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件。） | |
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