1200℃CVD一體機
發(fā)布時間： 2021-04-20 21:06:49 瀏覽次數：2431
設備簡介：
NBD-CVD1200系列一體機采用國際先進制造工藝，從美學藝術角度出發(fā)根據人體安全的角度設計，控制系統采用先進的PLC+觸摸屏操控系統，操作更加簡單方便。溫度控制采用先進的PID模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。
| 1.爐體與控制系統集成一體化，使試驗方便快捷直觀。 2.配置浮子流量計或質量流量計混氣氣路，可以單獨設置氣體流量。 3.精確PID程序多段控制，實現不同工藝多段溫度時間監(jiān)控。 4.爐襯采用高純氧化鋁輕質纖維材料，保溫效果極佳。 5.配備機械泵或分子真空泵，可以實現不同的真空條件。 | ||||||||||||
產品型號 | NBD-CVDO1200 | ||||||||||||
爐管直徑 | Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自選) | ||||||||||||
工作溫度 | ≤1100℃ | ||||||||||||
溫區(qū)選擇 | 單溫區(qū) | 雙溫區(qū) | 三溫區(qū) | ||||||||||
加熱區(qū)尺寸 | 440mm | 200mm + 200mm | 200mm + 400mm + 200mm | ||||||||||
電器規(guī)格 | AC220V 4KW | AC220V 5KW | AC220V 8KW | ||||||||||
升溫速率 | 建議 10℃/min | ||||||||||||
控制系統 |
1、燒結工藝曲線設置：動態(tài)顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結； 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄； 4、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。 | ||||||||||||
氣體系統（可選購） | 流量計類型 | 浮子流量計 | 質量流量計 | ||||||||||
管道示意圖 |
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進氣接口數量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||||||
低真空系統（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||||||
抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||||||
進排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||||||
極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||||||
高真空系統（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||||||
真空測量計 | 復合真空計 | ||||||||||||
極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||||||
* 支持非標定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746 | |||||||||||||
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地址：鄭州·新鄭·新華街道竹園8號
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電話：400-000-3746