觸控屏用途：

NBD觸控屏為質量流量控制器的集成控制終端。提供工作電源、 操作控制、流量設定和流量顯示等功能。流量顯示儀可直接與我廠的S49系列質量流量控制器（MFC）或S49系列質量流量計（MFM）配套使用。同時也可以與其他型號的質量流量控制器配合使用。

觸控屏包含如下功能：

① 為質量流量控制器或流量計提供工作電源；

② 手動操作控制、流量設定；

③ 氣體流量的顯示；

④ 可以與其他型號的質量流量控制器配合使用。

產品型號

NBD-2Z

NBD-3Z

NBD-4Z

流量計類型

質量流量控制器

管道示意圖

采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管（可選）

進氣接口數量

（多路可定制）

2

3

4

接口尺寸

1/4”雙卡套接頭

測量精度

±1.0%F.S

流量計測量范圍

50、100、200、500Sccm可選

壓差范圍

0.05-0.4MPa

凈重

35KG

設備使用注意事項

1.確保管道內壓力＜0.15MPa；

2.氣柜連接好氣瓶后要用肥皂水進行檢漏測試；

服務支持

1年質保，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件）。