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高溫高真空CVD一體機

發(fā)布時間： 2022-08-16 09:13:57 瀏覽次數(shù)：2169

設(shè)備簡介：

NBD-CVD系列高溫爐整體采用國際先進制造工藝，并且從美學(xué)藝術(shù)角度出發(fā)，根據(jù)人體安全的角度進行設(shè)計?？刂茢?shù)學(xué)模型采用先進的PID自學(xué)習(xí)模糊控制，使控溫精度保持在±1℃。經(jīng)過長期多次的各種試樣實驗驗證，幾乎可以適用于所有類型材料的焙燒。

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	設(shè)備設(shè)備采用15.6英寸大尺寸全觸屏智能人機交互系統(tǒng)，高真空分子泵機組，新一代無油渦旋真空泵作為前級泵，以及高精度氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，可以實現(xiàn)樣品在高精度氣體控制、高溫（Tmax：1650℃）條件下的智能化操作。
產(chǎn)品型號	NBD-T1700-80T2G3Z
Tmax	1700℃
額定溫度	1650℃
控溫精度	±1℃
觸摸屏尺寸	15.6英寸
額定功率	10KW
傳感器類型	B型
推薦升溫速率	≤10/min
爐管尺寸	?80*1200mm
極限真空度	6×10-4Pa
爐體外形凈尺寸	長1690×高1410×深765mm
無油渦旋式干式真空泵（前級泵，具有結(jié)構(gòu)簡單，密封性能好，極限真空高等優(yōu)點。在應(yīng)用方面具有運行成本低、工作壽命長、可靠性高、噪音低等顯著特點，在無油清潔應(yīng)用領(lǐng)域有著不可比擬的優(yōu)勢。）
控制系統(tǒng)		1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄； 4、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正。
氣體系統(tǒng)（可選購）	流量計類型	浮子流量計				質(zhì)量流量計
	管道示意圖
	進氣接口數(shù)量	2、3、4（多路可選）
	流量范圍	20-200/60-600l/min(多量程可選)				50/100/200sccm(多量程可選)
	工作壓差范圍	0-0.15MPa
低真空系統(tǒng)（可選購）	真空泵型號		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽氣速率		1L/s		3L/s		4L/s
	進排氣口尺寸		Φ8mm寶塔接頭		Φ8mm寶塔接頭		KF16/25
	極限壓力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作溫度		5-40℃
	電氣規(guī)格		AC220V
分子泵高真空系統(tǒng) （可選購）	分子泵系統(tǒng)型號		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽氣速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空測量計		復(fù)合真空計
	極限壓力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作溫度			5-40℃
	電氣規(guī)格			AC 220V	AC 220V			AC 380V
* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746

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