液氣CVD一體機(jī)
發(fā)布時(shí)間: 2022-10-29 17:01:19 瀏覽次數(shù):1798
設(shè)備簡(jiǎn)介:
諾巴迪液氣CVD一體機(jī),通過(guò)高精度氧分析儀確保無(wú)氧工作環(huán)境。物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的石英腔內(nèi),能夠在穩(wěn)定均勻的溫場(chǎng)內(nèi),最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸。獨(dú)有懸掛式氣相發(fā)生器,能夠在工作腔擺振的同時(shí),始終保持水平穩(wěn)定輸出。多路質(zhì)量流量控制器,可精確控制氣體流量。
高密封性連接工藝,確??扇夹詺怏w及有毒有害氣體無(wú)任何泄露,高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍。易燃易爆及有毒有害氣體檢測(cè)儀與設(shè)備聯(lián)動(dòng),可及時(shí)獲取實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施,同時(shí),兩個(gè)報(bào)警儀在超出設(shè)定警戒值時(shí)發(fā)出預(yù)警提示。工作腔室排出的尾氣通過(guò)尾氣處理罐進(jìn)行無(wú)害化處理。
1.通過(guò)高精度氧分析儀確保無(wú)氧工作環(huán)境; 2.物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的異形石英腔內(nèi),能夠在穩(wěn)定均勻的溫場(chǎng)內(nèi),最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸; 3.獨(dú)有懸掛式氣相發(fā)生器,能夠在工作腔擺振的同時(shí),始終保持水平穩(wěn)定輸出; 4.多路質(zhì)量流量控制器,可精確控制氣體流量; 5.高密封性連接工藝,確??扇夹詺怏w及有毒有害氣體無(wú)任何泄露,高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍; 6.易燃易爆及有毒有害氣體檢測(cè)儀與設(shè)備聯(lián)動(dòng),可及時(shí)獲取實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施,同時(shí),兩個(gè)報(bào)警儀在超出設(shè)定警戒值時(shí)發(fā)出預(yù)警提示; 7.工作腔室排出的尾氣通過(guò)尾氣處理罐進(jìn)行無(wú)害化處理。 | |||||||||
產(chǎn)品型號(hào) | NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N | ||||||||
供電電源 | 三相380V 50HZ | ||||||||
控溫精度 | ±1℃ | ||||||||
額定功率 | 8KW | ||||||||
測(cè)溫元件類(lèi)型 | K型熱電偶 250mm | ||||||||
Tmax | 1100℃ | ||||||||
加熱溫區(qū)尺寸 | φ150*430mm | ||||||||
爐管材質(zhì) | 高純石英 | ||||||||
爐管容積 | 5L | ||||||||
樣品有效容積 | 500ml | ||||||||
傾斜角度 | -20度(出料)~3度(進(jìn)料) | ||||||||
爐管轉(zhuǎn)速 | 0.1~12.6轉(zhuǎn)/每分鐘 | ||||||||
爐體尺寸 | 長(zhǎng)1550×深830×高1360mm(含乙炔報(bào)警器2160mm) | ||||||||
推薦升溫速率 | 10℃/min | ||||||||
重量 | 約260KG | ||||||||
控制系統(tǒng) | 1、燒結(jié)工藝曲線(xiàn)設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線(xiàn),設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線(xiàn),每條工藝曲線(xiàn)可自由設(shè)置; | ||||||||
弱腐蝕性氣體預(yù)熱器 (可選配) | ![]() | 通體采用316L材料,對(duì)于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理,滿(mǎn)足特殊的工藝需求,最高溫度達(dá)600℃。 | |||||||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí),禁止打開(kāi)爐膛,避免受到傷害; 2、爐膛連續(xù)使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正?,F(xiàn)象,不影響設(shè)備的正常使用; | ||||||||
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