高溫TMDs 沉積一體機(jī)

發(fā)布時(shí)間: 2023-06-14 00:28:03    瀏覽次數(shù):1111

設(shè)備簡介:

該設(shè)備主要應(yīng)用于過渡金屬二硫化物材料制備。設(shè)備分兩個(gè)溫區(qū),高溫區(qū)用于硫粉的蒸發(fā),低溫區(qū)用于MoO3的蒸發(fā)及硫化物的沉積。適當(dāng)調(diào)整襯底和蒸發(fā)源的距離、蒸發(fā)溫區(qū)的溫度及進(jìn)氣流量,可得到大面積的單層二硫化物材料。

本設(shè)備仍可作為滿足實(shí)驗(yàn)參數(shù)的常規(guī)CVD設(shè)備使用。

  

產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品視頻
留言咨詢


設(shè)備特點(diǎn):

1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化,使試驗(yàn)方便快捷直觀。
2.配置兩路質(zhì)量流量計(jì)混氣氣路,可以單獨(dú)設(shè)置氣體流量。
3.精確PID程序多段控制,實(shí)現(xiàn)不同工藝多段溫度時(shí)間監(jiān)控。
4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果極佳。
5.配備機(jī)械泵或分子真空泵,可以實(shí)現(xiàn)不同的真空條件。

爐體尺寸

1100mm×1250mm×750mm(×高×深)

剛玉管尺寸

Φ80*1000mm

主控升溫速率

建議≤10℃/min

使用溫度

1200℃以下可長期使用

控溫精度

±1℃

最高溫度

1100℃

加熱元件

高溫合金絲

加熱功率

5KW

主控爐膛材料

高純多晶纖維復(fù)合耐火保溫層

主控爐膛模式

開啟式

密封方式

不銹鋼密封法蘭

測溫元件

K型熱電偶

加熱溫區(qū)長度

雙溫 210mm*2

操控模式

NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7英寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對話模式;

溫度曲線設(shè)置

主加熱可預(yù)存15條溫度曲線,每條曲線可設(shè)置30段"時(shí)間—溫度曲線",實(shí)時(shí)監(jiān)控,動(dòng)態(tài)真實(shí)顯示“時(shí)間-溫度曲線”

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值,系統(tǒng)全程進(jìn)行非線性修正(詢問客戶常用溫度點(diǎn),做特別效驗(yàn))

真空泵類型

直聯(lián)旋片式真空泵(雙級(jí)旋片)

抽氣速率

4(L/s)

進(jìn)排氣連接口

KF16/25(mm)

用油量

0.6~1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440(rpm)

工作環(huán)境溫度

5~40℃

噪音(dB)

≤56

真空計(jì)類型

數(shù)顯真空計(jì)

系統(tǒng)真空

3~5pa (另選配分子泵可達(dá)6.3*10-3pa)

流量計(jì)類型

2路質(zhì)量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根據(jù)客戶需求選擇流量范圍

氣路管芯

專用不銹鋼氣體管道(1/4")

調(diào)節(jié)閥類型

手動(dòng)調(diào)節(jié)閥

管道常態(tài)

常閉

測量精度

±1.0%F.S

精度保證溫度

15~35℃

系統(tǒng)保護(hù)

超溫報(bào)警,過流保護(hù),斷偶提示

電氣規(guī)格

220V 50Hz 5KW

隨機(jī)產(chǎn)品配置

石英爐管1 ,爐塞1套 ,爐鉤一只,說明書1份;隨機(jī)工具等。

服務(wù)項(xiàng)目

運(yùn)輸及保險(xiǎn)費(fèi),包裝費(fèi),安裝及技術(shù)服務(wù)費(fèi); 提供12個(gè)月質(zhì)保,觸控系統(tǒng)24個(gè)月,終身保修。

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄;
4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測設(shè)備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正
。

* 支持非標(biāo)定做,更多型號(hào),歡迎來電垂詢400-000-3746

免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r(shí),或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。



咨詢熱線:400-000-3746
銷售熱線: 0371-6320 2801
               0371-6320 2805
售后服務(wù): 0371-6320 2805
蔡永國: 181-0371-5723
高經(jīng)理: 188-3829-0747
黃經(jīng)理: 188-3829-0748
Email: nbd@nbdkj.com
地址:鄭州·新鄭·新華街道竹園8號(hào)
聯(lián)系方式
Contact
產(chǎn)品分類 {{catname}}
產(chǎn)品中心
ServiceItems
電話:400-000-3746
聯(lián)系我們
銷售熱線: 0371-6320 2801
               0371-6320 2805
售后服務(wù): 0371-6320 2805
蔡永國: 181-0371-5723
Email : nbd@nbdkj.com
地址:鄭州·新鄭·新華街道竹園8號(hào)
copyright © 2024 河南諾巴迪材料科技有限公司