高溫TMDs 沉積一體機(jī)
發(fā)布時(shí)間: 2023-06-14 00:28:03 瀏覽次數(shù):1111
設(shè)備特點(diǎn): 1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化,使試驗(yàn)方便快捷直觀。 | |||||||||
爐體尺寸 | 1100mm×1250mm×750mm(寬×高×深) | ||||||||
剛玉管尺寸 | Φ80*1000mm | ||||||||
主控升溫速率 | 建議≤10℃/min | ||||||||
使用溫度 | 1200℃以下可長期使用 | ||||||||
控溫精度 | ±1℃ | ||||||||
最高溫度 | 1100℃ | ||||||||
加熱元件 | 高溫合金絲 | ||||||||
加熱功率 | 5KW | ||||||||
主控爐膛材料 | 高純多晶纖維復(fù)合耐火保溫層 | ||||||||
主控爐膛模式 | 開啟式 | ||||||||
密封方式 | 不銹鋼密封法蘭 | ||||||||
測溫元件 | K型熱電偶 | ||||||||
加熱溫區(qū)長度 | 雙溫 210mm*2 | ||||||||
操控模式 | NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7英寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對話模式; | ||||||||
溫度曲線設(shè)置 | 主加熱可預(yù)存15條溫度曲線,每條曲線可設(shè)置30段"時(shí)間—溫度曲線",實(shí)時(shí)監(jiān)控,動(dòng)態(tài)真實(shí)顯示“時(shí)間-溫度曲線” | ||||||||
溫度校正 | 主控控溫溫度和試樣溫度的差值,系統(tǒng)全程進(jìn)行非線性修正(詢問客戶常用溫度點(diǎn),做特別效驗(yàn)) | ||||||||
真空泵類型 | 直聯(lián)旋片式真空泵(雙級(jí)旋片) | ||||||||
抽氣速率 | 4(L/s) | ||||||||
進(jìn)排氣連接口 | KF16/25(mm) | ||||||||
用油量 | 0.6~1L | ||||||||
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440(rpm) | ||||||||
工作環(huán)境溫度 | 5~40℃ | ||||||||
噪音(dB) | ≤56 | ||||||||
真空計(jì)類型 | 數(shù)顯真空計(jì) | ||||||||
系統(tǒng)真空 | 3~5pa (另選配分子泵可達(dá)6.3*10-3pa) | ||||||||
流量計(jì)類型 | 2路質(zhì)量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根據(jù)客戶需求選擇流量范圍 | ||||||||
氣路管芯 | 專用不銹鋼氣體管道(1/4") | ||||||||
調(diào)節(jié)閥類型 | 手動(dòng)調(diào)節(jié)閥 | ||||||||
管道常態(tài) | 常閉 | ||||||||
測量精度 | ±1.0%F.S | ||||||||
精度保證溫度 | 15~35℃ | ||||||||
系統(tǒng)保護(hù) | 超溫報(bào)警,過流保護(hù),斷偶提示 | ||||||||
電氣規(guī)格 | 220V 50Hz 5KW | ||||||||
隨機(jī)產(chǎn)品配置 | 石英爐管1根 ,爐塞1套 ,爐鉤一只,說明書1份;隨機(jī)工具等。 | ||||||||
服務(wù)項(xiàng)目 | 運(yùn)輸及保險(xiǎn)費(fèi),包裝費(fèi),安裝及技術(shù)服務(wù)費(fèi); 提供12個(gè)月質(zhì)保,觸控系統(tǒng)24個(gè)月,終身保修。 | ||||||||
控制系統(tǒng) | 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; | ||||||||
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