晶體結(jié)構(gòu):

六方晶系

晶格常數(shù):

a=3.112?;C=4.982?

密度:

3.23g/cm3

熱導率:

285w/mk

可用區(qū)域:

>80%

EPD :

<1E5 cm-2

吸收系數(shù):

<80 cm-1

常規(guī)晶向:

c平面(0001

常規(guī)晶向:

士1°

晶向公差:

10x10x0.45mm±50μm、5x5x0.45mm±50μm

常規(guī)尺寸:

雙拋

拋光情況:

A1面:CP抽光(RMS<0.8nm)

拋光面粗糙度:

N面:光學拋光(RMS<3nm)