1500℃ CVD系統(tǒng)
發(fā)布時間: 2024-04-28 15:56:07 瀏覽次數:931
| 設備特點: 1、采用高純氧化鋁材質爐管,耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越; 2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,保溫效果突出,有效地降低了設備功耗; 3、爐體采用雙層風冷結構工藝,有助于快速降低殼體表面溫度; 4、采用智能PID模糊溫度控制,7英寸觸摸屏集中操控,可直觀顯示“時間-溫度”曲線;
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設備名稱 | 高溫CVD系統(tǒng) | |||||||
T-max | 1500℃ | |||||||
電源 | 單相220V 50HZ | |||||||
額定功率 | 6KW | |||||||
測溫元件類型 | S型熱電偶φ8*205mm | |||||||
Tmax | 1450℃ | |||||||
加熱溫度區(qū)尺寸 | 第一個溫度區(qū):Φ100*225mm? 第二個溫度區(qū):Φ100*225mm | |||||||
爐管尺寸 | Φ100*1200mm | |||||||
外形尺寸 | 長1414m×高720mm×深514mm | |||||||
加熱速率 | 1℃/H-20℃/Min | |||||||
重量 | 350kg | |||||||
控制系統(tǒng) |
| 1、燒結工藝曲線設置:動態(tài)顯示設置曲線,設備燒結可預存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設置; 2、可預約燒結,實現(xiàn)無人值守燒結工藝曲線燒結; 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實現(xiàn)無紙記錄; 4、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設備狀態(tài); 5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進行非線性修正
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溫度精度 | ±1℃ | |||||||
加熱元件 | 抗酸耐腐性能優(yōu)越的高純硅碳棒 | |||||||
密封系統(tǒng) |
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真空度:10Pa(機械泵) | ||||||||
壓力測量與監(jiān)控 |
| 采用機械壓力表,表外殼為氣密型結構,能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。
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供氣系統(tǒng) | | 采用浮子流量計控制氣體流速,與設備集成為一體,且出廠前已進行漏氣測試工作。
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凈重 | 350kg | |||||||
設備使用注意事項 |
1、設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2、爐膛連續(xù)使用產生的輕微裂紋屬于正常現(xiàn)象,不影響設備的正常使用; | |||||||
服務支持 | 一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關產品處訂購更換件。) |
銷售熱線: 0371-6320 2801
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售后服務: 0371-6320 2805
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電話:400-000-3746