設(shè)備特點(diǎn)：

1、采用高純氧化鋁材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越；

2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果突出，有效地降低了設(shè)備功耗；

3、爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，有助于快速降低殼體表面溫度；

4、采用智能PID模糊溫度控制，7英寸觸摸屏集中操控，可直觀(guān)顯示“時(shí)間-溫度”曲線(xiàn)；

設(shè)備名稱(chēng)

高溫CVD系統(tǒng)

T-max

電源

單相220V 50HZ

額定功率

6KW

S型熱電偶φ8*205mm

1450℃

第一個(gè)溫度區(qū)：Φ100*225mm  第二個(gè)溫度區(qū)：Φ100*225mm

Φ100*1200mm

長(zhǎng)1414m×高720mm×深514mm

1℃/H-20℃/Min

350kg

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線(xiàn)設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線(xiàn)，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線(xiàn)，每條工藝曲線(xiàn)可自由設(shè)置；

2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線(xiàn)燒結(jié)；

3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄；

4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀(guān)測(cè)設(shè)備狀態(tài)；

5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線(xiàn)性修正

溫度精度

±1℃

加熱元件

抗酸耐腐性能優(yōu)越的高純硅碳棒

密封系統(tǒng)

真空度：10Pa（機(jī)械泵）

壓力測(cè)量與監(jiān)控

供氣系統(tǒng)

弱腐蝕性氣體預(yù)熱器

（可選配）

凈重

350kg

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害；

2、爐膛連續(xù)使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正常現(xiàn)象，不影響設(shè)備的正常使用；

服務(wù)支持

一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件。）